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激光混合氣分類及用途,大家來聊一聊。

時間:2021-08-25瀏覽量:337

氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導體激光器一樣,已經實現了實用化。它已廣泛用于工農業(yè)生產、科學研究、國家建設和醫(yī)療衛(wèi)生等領域。氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。

由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在,將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。

如果將氦氖激光作為第1代氣體激光,二氧化碳激光是第2代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第3代激光。下圖列出常見的氦氖激光混合氣、二氧化碳混合氣、氪氟激光混合氣、密封束混合氣和準分子激光混合氣的組成和具體用途。

 

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